电子级超纯水标准(共2页).doc

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水 质 标 准
　
   中国电子行业超纯水国家标准
(GB/-1997 )
指 标 名 称
一 级 水（EW-1）
二 级 水（EW-2）
　. （25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
　　硅　　　≤μg/L
2
10
　　微粒数　＞1μm

5
　细菌个数　≤个/ml


　　铜　　　≤μg/L

1
　　锌　　　≤μg/L

1
　　镍　　　≤μg/L

1
　　钠　　　≤μg/L

2
　　钾　　　≤μg/L

2
　　***　　　≤μg/L
1
1
　***根　　≤μg/L
1
1
　磷酸根　　≤μg/L
1
1
　硫酸根　　≤μg/L
1
1
　总有机碳　≤μg/L
20
100
中国国家电子级超纯水GB/－1997标准
 指标\级别
 EW－Ⅰ
 EW－Ⅱ
EW－Ⅲ 
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
    
   
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全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL

5
10
500
 细菌个数，最大值，个/mL


10
100
 铜，最大值，μg/L

1
2
500
 锌，最大值，μg/L

1
5
500
 镍，最大值，μg/L

1
2
500
 钠，最大值，μg/L

2
5
1000
 钾，最大值，μg/L

2
5
500
 ***，最大值，μg/L
1
1
10
1000
 ***根，最大值，μ