微压压力传感器的设计与研究.pdf

分类 号
注 编号
沪,
硕 士 学 位 论 文
'
论文题目 陌独 川一必 礴
学科专业 夕…' 片 卫下
作者姓名
指导教师
答辩 日期 一 型
学位论文版权使用授权书
本学位论文作者完全了解学校有关保留 、 使用学位论文的规定,
同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,
允许论文被查阅和借阅。本人授权江苏大学可以将本学位论文的全部
内容或部分内容编入有关数据库进行检索, 可以采用影印 、缩印或扫
描等复制手段保存和汇编本学位论文 。
保 密 口, 在 年解密后适用本授权书 。
本学位论文属于
学位论文作者签名 指导教师签名
`年 `“ 年 石月 了日
独 创 性 声 明
本人郑重声明 所呈交的学位论文, 是本人在导师的指导下,
独立进行研究工作所取得的成果 。除文中已注明引用的内容以外,
本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果 。
对本文的研究做出重要贡献的个人和集体, 均已在文中以明确方式
标明 。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担 。
学位论文作”签名秒
日期 知分年 乡月 公日
微压压力传感器的设计与研究
院 系、所 机械工程学院
学 科 机械电子工程
研 究 生 朱中华
指 导 教 师 丁建宁 教授 、 博导
年 月
江 苏 大 学 硕 士 学 位 论 文
摘 要
传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志, 它与通信技术 、 计算机技术构成
现代信息产业的三大支柱 。在各种传感器中, 硅压力传感器是应用最为广泛的一种 。目
前国内市场上硅微压力传感器的量程都在 廿 以上, 更低量程的产品要依靠国外进口,
因此进行更低量程的硅微微压传感器的研究, 实现相关技术攻关对于促进硅微压力传感
器技术提高和相关产业发展有着实际意义 。本文主要对实现测量范围为 一 压力测
量的硅微微压传感器进行些研究,
本文首先对硅压阻式压力传感器的工作原理进行分析, 回顾了微压化进程 。通过对
感压薄膜的力学结构的分析与比较, 从而实现传感器结构的优化 。采用 软件进
行有限元模拟, 并进行了动力学分析 。
接着研究了压力传感器的动态特性, 用一种带有特殊白化预滤波器的广义最小二乘
的迭代法进行辩识建模 。分析了零极点对系统动态特性的影响, 研究了利用重新配置零
极点来改善系统动态特性的方法 然后, 基于零极点配置的方法, 设计了补偿数字滤波
器, 扩展了传感器的工作频带 。
关键词 压阻式微压传感器, 感压薄膜, 动态校准, 动态特性补偿
江 苏 大 学