晶体表面检测标准.ppt

表面光洁度标准
讲稿
2005/8/6
定义
表面缺陷标准:依据美国军用标准 MIL-PRE3830B用两组数
字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大
小,后者限制麻点大小。
道子、亮路都统称为划痕。
斑点、坑点、点子都称为麻点
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的
为麻点。
划痕
艮
点子
当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的
计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以
内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外
区域计算的是整体元件的等效直径。
B区80-50
如左图元件表面质量要求不同,则在
判定A区是否符合要求时,应取内圆
直径进行计算。而B区则取整个元件
A区20-10
的圆直径
美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。
长方形面积=长×宽=a×b
b长方形的等效直径D
b
D=2
面积=π(D/2)2
h
角的面积为(低×高)/2=(a×b)2
角等效直径I
h
B区:80-50
对于长方形元件(当长与宽的比<5:1
时)可以用简单公式:等效直径=(长+
宽)12来计算。如左图元件
A区:20-10
A区等效直径为(1+3)/2=2mm
2mm
B区等效直径为(2+4)/2=3mm
对于长与宽比≥5:1的产品不能用简
单公式计算等效直径
划痕
以美国军用标准《MIO-13830》的表面质量划痕样板作为各
级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位
也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、
40#、60#、80#5个级。
SCQA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是
美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:
1当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。
例如:元件的表面质量要求为6040,则代表元件的划痕必须<60#,如
果元件有>60#的划痕,则元件不合格
2当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划
痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为6040,有2条
6O#长为3mm划痕
它的等效直径为20mm
60#划痕长3mm
l/4D为14×20-5mm
最大划痕的长度和为
60划痕长3mm
imm+3mm=6mm
6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的14。所以元件不合格
左图是大家看的编号2的样品(图
片是放大的不是实际尺寸)
图中的划痕为20#,且长度>14D
对于表面质量要求20-10该产品不
合格。但本次样品未提出表面质量
要求,而是要大家自已决定光洁度
等级。因此该产品划痕可判为40#
,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有
级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大
划痕级数的一半
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为6040,元件上有2条
2mn的60划痕,3条4m的40#划痕
它的等效直径为20mm
l/4D为14×20=5mm
60划痕长2mm
最大划痕的长度和为
2mm+2mm=4mm
4mn<5mm。符合2条
但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为
#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20

[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
元件最大划痕级数为60:60的一半为602=30)36>30;因此,元件不合格
如左图所示的产品
。10#划痕
长度2mm对于表面质量要求20-10
该产品最大划痕长度1mm<1/5。
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件
直径之比所得乘积之和为
0×+10X2/5=+2=<10,
该元件划痕可判为20#
,且元件不存在最大
划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,
不得超过最大划痕级数。
例①:元件为∞10,表面质量指标6040,有2条50#划痕2m,1条4