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真空镀膜机技术指标
用途:本产品主要用于光学零件真空制备激光膜镀膜
主要结构:真空室体、真空获得系统、工件转动系统、水冷却系统、气动系统、蒸发镀膜系统、电器控制系统等组成
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:φ800×1000mm 。蒸发室与抽气室整体连接。底板为22mm,壁厚为5mm。
:立式前开门,室体门有装饰面板。
:优质不锈钢U304材料;外壁通冷却水。
:真空室内衬优质不锈钢材料防污板,装卸简单方便(二套)。
:门上部斜趋式窗口一个,门下部中央设观察窗口一个。窗口为直接水冷式,装备有耐高温玻璃、防辐射玻璃和防强光防护镜。
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:×10-4Pa。。
:大气→4×10-3Pa≤15min。
:在极限真空达到后关闭所有阀门,一小时真空度应≤3×10-1Pa。
:按照GB11164真空镀膜机通用技术条件测试,测试仪器为ZDF-Ⅲ型数字真空计。

方200mm处。
、蒸发室无样品、镀膜材料。
. 蒸发室烘烤后、经干燥氮气充气。
:ZJ-25型电阻规,测量范围1×103 Pa~10-1Pa。
:ZJ-27型电离规,测量范围10Pa~10-5Pa。
. 测量规管加金属保护套。
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-630扩散泵+2X-70机械泵(TK-630扩散泵抽速12000L/S, 2X-70机械泵抽速70L/S)。
,在泵口上方配紧密型水冷阱。
,拆卸清洗方便
:电阻规二点、电离规一点。
,设置在真空室顶部及真空管道上。
,增加防喘流抽气小管道。
,各部分密封安全可靠。
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,中心驱动方式,结构转动平穏。径向跳动≤;轴向跳动≤。
、轴承等传动件,避免加热器等热源对运动精度的不良影响。
:0→31rpm,无级可调。采用直流调速器,稳定可靠。
,不锈钢材料,尺寸φ720mm,R=700mm。
,乙方加工。
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:从上向下烘烤,功率为6Kw。
. 发热元件:采用进口管状加热器。
:PID系统自动控制和指示温度仪表(日本岛彦产M-3型数字温控仪,手动/自动控温)。
:350℃,可控可调,控制精度差≤1%(测量位置为被镀基片附近),有烘烤计时装置。
≤5%。
烘烤罩为360度球帽状。
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:蒸发室布置一对水冷式电阻蒸发源,功率4KW。
. 配新型WTQ