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文档介绍
每周机台检查表日期:年月(Daily checking record) 设备晶粒点测机(LEDA -EVA3G) 设备放置所属. 质保处名称编号地点单位点检项目判定基准周别日期 1光纤位置中心确认是否偏移 2各产品文件参数确认是否正确 3VF校正确认(机台隔周确认)标示位置 4积分球下降位置设定标示位置 5﹍﹍﹍﹍确认片校正 LOP 及WLD 规格内 6﹍﹍﹍﹍确认片校正 LOP 及WLD 规格内 7﹍﹍﹍﹍确认片校正 LOP 及WLD 规格内 8风扇运转清洁洁净度 9CCD 影像校正是否偏移 10X、Y、Z罗杆滑轨上油 11Chuck 水平是否偏移 12 异常处置顺序: 备注点检者点检者维护单位签章主管审核异常说明: 保存年限:2年 DOC#400440 -
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