【2019年整理】WIRD0325镀膜机操作及镀膜工艺指导书.docx

镀膜机操作及镀膜工艺指导书
受控状态及编号］
文件编号
GL/WI-RD-03-25
贞 码
Page 1 of 30
部 门
技术部
发布日期
2013年12月9日
拟 制
徐威
审核
批准
变 更 履 历
1
2007-05-28
文件整合
将老版文件改为新版的格式
聂旭光
2
2007-08-15
内容新增
1、增加产品镀膜前烘烤要求 Page 15
周霞
2、增加表单 Page 20
周霞
3
2007-10-09
客户审核要求
1、增加变更履历 Page 1
杨莎
2、去掉产品镀膜前烘烤要求 Page 15
周霞
3、5#镀膜机增加光栅增透 Page 15
聂旭光
4
2008-04-29
内容新增
新增镀膜应急情况处理办法 Page
冯浩
5
2008-09-09
内容新增
Page 12
冯浩
6
2009-04-13
内容变更
更新3#镀膜机作业流程 Page 9-14
何健
7
2009-04-24
内容新增
新增4#镀膜机作业流程 Page 19-21
何健
8
2009-05-18
客户审核要求
新增镀虹品切换要求 Page 21
何健
9
2009-08-05
文件整合
全部更新 全文
冯浩
10
2010-01-15
内容变更
#5#6#机台清洗周期 2变更4#工艺参 数
冯浩
11
2010-04-7
内容新增
新增 光栅镀膜工艺 page9-14
增加405nm增透工艺 page20
徐威
12
2010-7-28
内容变更
变更3#镀膜机保养规范 Page 13
变更4#镀膜机工艺参数 Page 18-22
变更5#镀膜机工艺参数 Page 25-26
变更6#镀膜机工艺参数 Page 30
徐威
袁超
13
2010-9-13
内容新增
新增〈〈镀膜工艺卡片》 Page 18 , 32
叶小兵
14
2010-9-20
内容新增
新增3#, 4#镀膜机烘烤温度点检要求
冯浩
15
2011-4-18
内容新增
新增镀膜工艺卡片三洋 BD414蓝光偏小AR正
常AR偏大AR
徐威
16
2011-11-21
文件整合
全部更新 全文
靖泽兵
17
2011-12-30
内容变更
部分内容调整 Page
靖泽兵
18
2012-2-8
内容变更
表单变更 Page28
靖泽兵
19
2012-3-12
内容变更
表单变更 Page28
靖泽兵
20
2012-5-21
内容新增
，时机为停机大于等于 24小
靖泽兵
时后测温。

21
2012-12-26
内容变更
表单变更 Page28
靖泽兵
22
2013-1-5
内容新增
新增阳极筒更换注意事项 Page16
徐威
23
2013-1-14
内容新增
新增清扫注斗项及膜料存放要求 Page3、4
新增卜伞条件 Page 8
新增离子源存放要求 Page 16
变更设备清洗流程 Page 13、15、20、22
变更配件更换要求 Page 14 、21
徐威
24
2013-12-9
应客户要求
增加〈〈产品面别一览表》 Page 29-30
杨莎
25
2014-4-23
内容变更
Sio2加料变更 Page 4
徐威
一、 目的
为了规范镀膜作业员镀膜操作，特制定该文件。
二、 适用范围
本文件适用丁参与镀膜操作的全体人员。
三、 设备及辅助材料
1# :昭和真空镀膜机；
2# :昭和真空镀膜机；
3# :莱宝真空镀膜机；
4# :韩一真空镀膜机；
5# :现代南光ZZS1100真空镀膜机；
6# :现代南光ZZS1100真空镀膜机；
：镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镶子、***、口罩、手套
四、 镀膜机制作产品范围
编勺
名称
适用产品

1#昭和镀膜机作业流程
全反、增透膜等

2#昭和镀膜机作业流程
全反、增透膜等

3#莱宝镀膜机作业流程
光栅、滤光片、分光、全反、增透膜等

4#韩一镀膜机作业流程
滤光片、分光、全反、增透膜等

5#南光镀膜机作业流程
分光、增透膜等

6#南光镀膜机作业流程
增透膜等

镀膜