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ELA基础知识介绍Array-MFG2015/09/,在标准状态下,即在基态时,它处于分离状态,而在激发态处于分子状态。常见的准分子有:XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*3精选课件ELA简介为什么选用准分子激光?准分子激光对应的紫外波段,a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数紫外光的注入深度较小,(2)准分子激光原理、结构及参数(1)准分子激光退火系统的结构(3)光学系统构成简介(4)退火腔结构简介8精选课件ELA系统基本组成准分子激光退火系统9精选课件TCZ&JSWELASystemoverview准分子激光退火系统-ELASystemoverview10精选课件
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