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文档介绍
)简化N阱CMOS工艺演示flash2)清华工艺录像:N阱硅栅CMOS工艺流程3)双阱CMOS集成电路的工艺设计4))简化N阱CMOS 工艺演示2精选课件氧化层生长光刻1,刻N阱掩膜版氧化层P-SUB3精选课件曝光光刻1,刻N阱掩膜版光刻胶掩膜版4精选课件氧化层的刻蚀光刻1,刻N阱掩膜版5精选课件N阱注入光刻1,刻N阱掩膜版6精选课件形成N阱N阱P-SUB7精选课件氮化硅的刻蚀光刻2,刻有源区掩膜版二氧化硅掩膜版N阱8精选课件场氧的生长光刻2,刻有源区掩膜版二氧化硅氮化硅掩膜版N阱9精选课件去除氮化硅光刻3,刻多晶硅掩膜版FOXN阱10精选课件
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