透射电镜原理ppt课件.ppt

透射电子显微镜(TEM):透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope,TEM)是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。简史:1933年,德国科学家卢斯卡(Ruska)和克诺尔(Knoll)研制出了世界上第一台透射电镜,到今天,透射电镜已经诞生了70多年,由电镜应用而形成的交叉性学科——电子显微学已经日趋完善,电镜的分辨能力也比最初时提高了超过100倍,达到了亚埃级,并且在自然科学研究中起到日益重要的作用。可见光的波长在390~760nm电子波长:取V=100kV,:为什么采用电子束做为光源?()显微镜可分辨的两点间的最小距离,即为显微镜的分辨率λ是照明束波长,α是透镜孔径半角,n是物方介质折射率,n·sinα或N·A称为数值孔径。,可得d约为200nm对于TEM在100kV加速电压下,,,目前电子显微镜达不到其理论极限分辨率,,把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度。相应的放大倍数叫做有效放大倍数,它可由下式来确定:,光学显微镜的有效放大倍数远小于透射电镜。电子图像的放大倍数为物镜、中间镜和投影镜的放大倍数之乘积,即M=。(简称透射电镜,TEM)可以以几种不同的形式出现:高分辨透镜(HRTEM):JEM2100,点分辨率:,晶格分辨率:,(STEM):利用磁透镜将电子束聚焦到样品表面并在样品表面快速扫描,通过电子穿透样品成像,既有透射电子显微镜功能,又有扫描电子显微镜功能的一种显微镜。分析型电镜(AEM):JEM2010HF,点分辨率:,晶格分辨率:,:<200KV为低压透射电镜加速电压200~400KV为高压透射电镜>400KV为超高压透射电镜按照明系统分类:普通透射电镜和场发射透射电镜按成像系统分类:低分辨率透镜和高分辨率透镜10.