集成电路设计基础 ppt课件.ppt

书名:集成电路设计基础ISBN:978-7-111-42768-1作者:董海青出版社:***出版社本书配有电子课件集成电路设计基础高职高专ppt课件集成电路设计基础董海青集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件工艺,即制造集成电路元器件的过程!元器件分很多种,对应的制造工艺也不尽相同,我们可以根据元器件进行分类。根据器件可以将工艺分成双极型集成电路制造工艺、MOS型集成电路工艺和Bi-CMOS集成电路制造工艺;根据电路功能可以分为模拟集成电路制造工艺个数字集成电路制造工艺。目前比较常用的是数字集成电路,但模拟集成电路也是必不可少的!而MOS集成电路又由于其自身的一系列有点而广泛使用。集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件MOS型集成电路有可以根据MOS晶体管的不同而分为NMOS集成电路、PMOS集成电路和CMOS集成电路。由于模拟集成电路的必不可少,现在比较流行的是Bi-CMOS工艺,即在一个芯片上同时制作双极型器件和MOS型器件。它综合了双极器件高跨导、强负载驱动能力和CMOS器件高集成度、低功耗的优点。集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件本章我们以目前比较常用的CMOS集成电路工艺为例,简单介绍工艺流程以及对应的元器件。1、CMOS工艺2、无源元件3、有源器件4、器件模型5、MOS器件特性集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件1、CMOS工艺1)版图2)流程3)其它工艺CMOS,即互补型MOS,电路中同时包含对应的NMOS晶体管和PMOS晶体管,而且是成对出现,其中PMOS作为负载管,NMOS作为驱动管。集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件1、CMOS工艺1)版图同时包含对应的NMOS晶体管和PMOS晶体管,那么应该用什么衬底和阱?根据阱的导电类型可以分为N阱工艺、P阱工艺和双阱工艺。集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件1、CMOS工艺1)版图此处为N阱CMOS工艺的反相器截面图。集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件1、CMOS工艺1)版图把刚才的版图拆分可以得到六层不同的区域。每一层要单独设计制作。如何制作每一层?集成电路设计基础高职高专ppt课件三、工艺器件1、CMOS工艺2)流程基本的工艺包括清洗、氧化、光刻、掺杂、淀积、溅射、外延等。集成电路设计基础高职高专ppt课件