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文档分类:高等教育

微电子机械系统技术与应用领域研究.docx


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微电子机械系统技术与应用领域研究.docx
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微电子机械系统技术与应用领域研究.docx微电子机械系统技术与应用领域研究摘要微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用的基础技术。文章首先阐述微电子机械系统概念与特点,进而对其技术类别进行了简要介绍,最后对微电子机械技术的应用进行了分析,包括环境科学领域、军事领域以及医疗领域,以期更大程度的发挥微电子机械系统技术的价值。/1/view-6308340.htm【关键词】微电子机械应用价值机械加工技术知识经济时代里人们所制造的物体微型化趋势愈加明显,尤其是在军事、医疗、环境、通信、航空等领域,机械装置微型化的要求逐渐增加。上个世纪80年代微电子机械系统开始实现了飞速的发展与创新,其又被成为微机械与微系统。微电子机械系统是一种集成化的机电装置,微小的尺寸和智能化、集成化是微电子机械系统的独特优势和特征。其最小尺寸已经达到1nm-1um的纳米的机械。微电子机械系统技术从出现到应用的时间里获得了国际的广泛关注,目前其应用领域与实际价值已经不言而喻。1微电子机械系统的概述1.1微电子机械系统的概念微电子机械系统主要结构有微型传感器、制动器以及处理电路。其是一种微电子电路与微机械制动器结合的尺寸微型的装置,其在电路信息的指示下可以进行机械操作,并且还能够通过装置中的传感器来获取外部的数据信息,将其进行转化处理放大,进而通过制动器来实现各种机械操作。而微电子机械系统技术是以微电子机械系统的理论、材料、工艺为研究对象的技术。微电子系统并不只是单纯的将传统的机电产品微型化,其制作材料、工艺、原理、应用等各个方面都突破了传统的技术限制,达到了一个微电子、微机械技术结合的全新高度。微电子机械系统是一种全新的高新科学技术,其在航天、军事、生物、医疗等领域都有着重要的作用。1.2微电子机械系统技术的特点1.2.1尺寸微型化传统机械加工技术的最小单位一般是cm,而微电子机械系统技术下的机械加工往往最小单位已经涉及到了微米甚至纳米。这以尺寸的巨大变化使得微电子机械系统技术下的原件具有微型化的特点,其携带方便,应用领域更加广阔。1.2.2集成化微电子机械系统技术下的原件实现了微型化为器件集成化提供了有力的基础。微型化的器件在集成上具有无可比拟的优势,其能够随意组合排列,组成更加复杂的系统。1.2.3硅基材料微电子机械系统技术下的器件都是使用硅为基加工原料。地面表面有接近30%的硅,经济优势十分明显。硅的使用成本低廉这就使得微电子机械系统技术的下的器件成本大大缩减。硅的密度、强度等于铁相近,密度与铝相近,热传导率与钨相近。1.2.4综合学科英语微电子机械系统技术几乎涉及到所有学科,电子、物理、化学、医学、农业等多个学科的顶尖科技成果都是微电子机械系统技术的基础。众多学科的最新成果组合成了全新的系统和器件,创造了一个全新的技术领域。2微电子机械系统的技术类别2.1体微机械加工技术体微机械加工技术主要将单晶硅基片加工为微机械机构的工艺,其最大的优势就是可以制作出尺寸较大的器件,最大的弊端是难以制造出精细化的灵敏系统。并且使用体微加工工艺难以优化器件的平面化布局,制作出来的器件难以与微电子线路直接兼容。体微机械加工工艺一般在压力传感器和加速度传感器的制造中普遍应用。2.2表面微机械加工技术表面微机械加工技术就是通 内容来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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  • 时间2020-07-14
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