ITO腐蚀分析报告.doc

报告编号
FX03-
合同号
FX044-0791
总页数
15页

分析报告
样品名称:LCD组件(手机显示)
型号规格:#10154 #1082
分析类别:委托分析
委托单位:世成电子(深圳)有限公司

信息产业部电子第五研究所
元器件可靠性研究分析中心
分析报告
产品名称
LCD组件(手机显示组件)
商标
-
生产单位
南太电子世成公司
型号规格
#10154(彩色)
#1082(单色)
委托单位
南太电子世成公司
分析类别
委托分析
委托单位地址
深圳市保安区西乡镇固戌工业村
邮政编码
518126
联系人
篮珂
电话
0755-27495818-3840
传真
0755-27494013
Email
lanke@
样品来源方式
委托单位送样
收样日期

样品数量编号
彩色1只:1#;单色1只:2#。
样品描述
无外观异常。
分析时间
-
分析项目
ITO腐蚀点分析
分析环境条件
温度15~35℃,湿度45~75%RH,气压86~106Kpa(通常大气条件)
分析依据
GJB548-96微电子器件试验方法和程序方法5003。
FX01-JE2-5电子组件失效分析程序与方法。
分
析
结
论
1#、2#样品ITO发生腐蚀,1#ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀,2#样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀;两种样品ITO腐蚀的根本原因是***的存在。
1#、2#样品均无钠存在,***的存在不是工艺过程中人体的汗水污染,***可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留。
以下空白
信息产业部电子第五研究所
元器件可靠性研究分析中心
附件
仪器设备清单
签
名
主检
编制
审查
批准


职务:
日期
2004年月日
2004年月日
2004 年5月31日
2004年月日

样品描述
样品为手机显示组件,LCD上ITO发生腐蚀,分析腐蚀点腐蚀原因。
分析过程
、项目观察
样品外观见图1。
1#(彩屏)样品腐蚀项目见图2,2#样品(单色屏)见图3。
图中可见:
① 1#(彩屏)样品腐蚀有电化学腐蚀的特征
1#腐蚀点位于ACF与硅橡胶交接处的相邻的两条ITO上,腐蚀从两条ITO相邻边往外发展,具有电化学腐蚀的特征,见图2。
1#样品腐蚀部位附近颜色异常
1#样品腐蚀部位呈现银白色,腐蚀部位附近呈现乳白色,与离腐蚀部位较远的地方有明显的差别,见图2。
② 2#(单色屏)样品腐蚀点具有化学腐蚀的特征
2#样品腐蚀发生在多条ITO上,腐蚀点的外围形成包围状图形,具有化学腐蚀的特征。
③ 2#(单色屏)样品腐蚀点有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征
2#(单色屏)样品腐蚀部位有形成包围的特征,具有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征。
、腐蚀点成份分析
1#、2#样品腐蚀点均位于两种材料的界面处,为了对腐蚀部位开展成份分析,必须将腐蚀部位完全暴露在最表面。制样中难以确保腐蚀产物暴露在最表面,因此,将腐蚀点上的ACF或硅橡胶去除干净:先用机械的方法,将ACF、硅橡胶刮除,再用有机溶剂擦除腐蚀点表面的ACF和硅橡胶,采用物理分析方法对腐蚀微区进行特征成份分析。本次分析采用二次离子质谱分析(SIMS)仪开展分析,
SIMS分析图谱见图4~图15,图16是2#样品1个腐蚀点的***的分布图形。从SIMS分析图谱可见:
1#样品(彩屏)、2#样品(单色屏)腐蚀点存在***
图4、图6、图10、图12是腐蚀部位SIMS分析的负离子图谱,可见,1#样品、2#样品腐蚀部位存在***。
1#样品(彩屏)、2#样品(单色屏)腐蚀点无钠存在
图5、图7、图11、图13是腐蚀部位SIMS分析的正离子图谱,可见,腐蚀部位无钠存在。证明***不属于人体的汗水污染。
正常部位(无腐蚀部位)未见***或***含量远比腐蚀点低
图8、图9、图14、图15分别是1#、2#样品ITO正常部位(无腐蚀部位)的SIMS分析图谱,可见,正常部位(无腐蚀部位)不含***或***的含量远比腐蚀部位低。
3、综合分析
腐蚀部位的形貌特征及成份特征可见:
1#样品腐蚀主要是电化学腐蚀,电化学腐蚀的主要原因是该部位存在***,在水的情况下电离形成电解液,由于电场的存在,发生电化学腐蚀。腐蚀部位附近呈现乳白色,可能是ITO电化学腐蚀的产物。
2#样品的腐蚀主要是化学腐蚀,其腐蚀是由于***和水(潮湿)对ITO作用的结果。
1#、2#样品SIMS分析中,未见钠的存在,证明腐蚀部位***不是来自组件工艺过程