SilvacoTCAD器件仿真(三)Tangshaohua,SCU17:371Silvaco学****E-Mail:******@shaohuachn@:37Silvaco学****2材料参数状态Material,设置材料参数材料参数和物理模型的选取有关,常用的参数及说明如下:17:37Silvaco学****3材料参数17:37Silvaco学****4材料参数17:37Silvaco学****5材料参数17:37Silvaco学****6能带参数能带结构示意图17:37Silvaco学****7能带不连续参数align的说明要在结构文件中查看能带,:37Silvaco学****8materialmaterial=InGaAsalign===\ nv300==-11materialmaterial=InPaffinity===\ nc300===-10materialregion=1taun0=-10taup0=-9vsatn=\ mun0=4000mup0=200impactselbmaterial=InGaAsan2===\ bp2==InPan2=1e7ap2====-9taup0=-==(折射率实部和虚部)尤为重要。两种方法可设置材料的光学参数1、C解释器编写参数文件2、添加、更改材料的折射率文件内的信息 文件路径:X:\sedatools\lib\Atlas\ *.n为折射率实部,*.k为折射率虚部17:37Silvaco学****9C解释器可通过C解释器编辑函数来描述材料参数C解释器模板路径X:\sedatools\lib\Atlas\\template例子 “=”17:37Silvaco学****10
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