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GaN基欧姆接触及AlGaNGaN HEMT器件研究的中期报告.docx
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GaN基欧姆接触及AlGaNGaN HEMT器件研究的中期报告.docx
该【GaN基欧姆接触及AlGaNGaN HEMT器件研究的中期报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【1】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【GaN基欧姆接触及AlGaNGaN HEMT器件研究的中期报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。GaN基欧姆接触及AlGaNGaNHEMT器件研究的中期报告本研究的中期报告主要集中在GaN基欧姆接触和AlGaNGaNHEMT器件的研究上。以下是具体内容:,我们通过原子层沉积(ALD)技术制备了镍/钛双金属欧姆接触,并检测了不同温度下接触的电学性能。结果表明,该接触在200℃时具有最佳的欧姆接触性能,并且在高温下也具有稳定性,这对于高温应用具有重要意义。。采用气相外延(MOVPE)技术在SiC衬底上生长了AlGaN/GaN异质结,并采用电子束光刻、等离子体刻蚀等工艺,制备了多个不同尺寸的HEMT器件。我们测试了这些器件的压阻特性、寄生电容等参数,并得到了HEMT器件的DC和射频特性。结果表明,我们制备的HEMT器件具有良好的电学性能和改善的射频特性,这对于高频应用具有重要意义。综上所述,我们在GaN基欧姆接触和AlGaNGaNHEMT器件方面取得了一定的进展,并将继续深入研究相关内容,以推动GaN器件的发展。
GaN基欧姆接触及AlGaNGaN HEMT器件研究的中期报告 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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niuww
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